第209章 我们要一鼓作气!再接再厉(2 / 3)
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机,并不是在跟某一个国家做对抗。
而是在跟整个西方世界做对抗。
但这些林曦月都不害怕,零件没有,那就造。
光刻机的研制最难把控的地方来自于它需要超高的精准度,这也是为什么有些工程师说一个零件都需要打磨十年。
因为只有经过反复的调整和试验,才能达到顶尖光刻机所需要的精确度。
他们的十年打磨在林曦月的手下只需要短短的几天时间。
在这一个项目中,林曦月跟方院士产生分歧的次数很少,两人在很多时候都能达成一致。
目前他们正在尝试制作光刻机的镜头,要做一个顶尖的光刻机,它所要求的镜头技术极其高。
只有镜头的性能足够好,精确度才会提高,光刻机咋子绘制电路图的时候才不会出现任何偏差。
在历经一个多个月后,他们制作出了具备euv光刻机所需的钼/硅反射镜。
研究室里,林曦月带着特殊制作的眼镜,看着处于真空状态下的反射镜。
“开始测试。”
同样戴着眼镜的曹育华慎重的点点头,进行一系列操作,开始测试。
测试很快,过了一会,被放慢无数倍的测试过程展现在大家眼前。
伴随着一串又一串的数据渐渐的浮现。
严谨站在林曦月旁边,开始记录这一串又一串的数据,脸上开始出现激动的神情。
“镜片对euv的吸收率,5%。”
“冷却系统成功处理掉镜片吸收的热量。”
......
随着严谨的声音在寂静的研究室里响起,其余人的脸上开始越来越激动。
这个数据可以说是目前世界上最好的镜头了吧!
要知道国外的镜头就算做的再好,镜片对euv的吸收率都要30%。
但是光刻机中,一整个反射系统就需要十一枚这样的反射镜。
这也导致最后真正用于光刻芯片的光强只剩些2%。
林曦月的嘴角弯起,露出一抹笑容,这个数据的镜头,已经够用了。
华国现在的镜头都需要从国外引入,有了它,国外都得来跟华国引入镜头!
“老大!我们做出来了!成功了!”严谨汇报完数据,看着真空状态下的镜头,神情激动地说道。
林曦月点点头,“嗯,做出来了。”
镜头算是他们做光刻机的一大门槛
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