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的波长也有所要求,这是准分子激光器的生产资料,能够生产出适合3nm光刻机的光源。”

徐院士震惊的翻着那堆资料,里面还真的是完整且相当详细的生产资料。

“你...将光刻机的生产机器都列出来了?”

这不仅是列出来了,还直接研究出来了,相当于直接把饭喂到嘴里,就问你吃不吃吧?

林曦月笑着摇摇头,光刻机的零件那么多,她怎么可能全部都研究一边。

“咱们也有光刻机的相关附属项目,我查了,那些项目有很多都是对光刻机的零件进行研究,所以有的零件我并没有列出来,只需要假意改装就可以。”

“那镜头你是怎么解决的?”

光刻机的镜片相当重要,高数值孔径的镜头决定了光刻机的分辨率以及套值误差能力。

何国那台最顶尖的光刻机里的镜头,是由光学领域在全球范围内最领先的z公司供应。

华国在镜头方面的技术相对来说比较落后,这也是一个比较难以攻克的点。

林曦月朝曹育华招招手,“拿镜头的资料。”

徐院士听到这句话,用一副看鬼的模样看着依旧淡定的林曦月。

别跟他说,她连镜头的生产资料都准备好了?

这一次的资料尤其多,多到桌面上都放不下,还是严谨跟曹育华一起搬才搬得动。

徐院士看着那堆资料上面的几个大字,‘基于3nm光刻机光学镜头的生产’,陷入了沉思。

所以他们还真的将镜头的生产问题也给解决了?

这还是人吗...

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