第214章 光刻机的测试(3 / 3)

展了？”

不到一年的时间，想都不敢想的事情。

罗甘这时也恢复镇定，笑着将徐院士扶过来，“徐院士，快来看看他们的测试。”

林曦月站在光刻机的操作台前，开始一系列的操作。

开始的那一刹那，一个显示屏将它里面的操作放慢放大无数倍，足以让他们看清整一个过程。

只见发出的光在通过有图形的光罩对涂有光刻胶的薄片进行曝光，光刻胶在见到光之后开始产生变化，将光罩上的图形慢慢的复印到薄片上。

“检测分辨率。”

“好的老大。”严谨应了一声开始跟曹育华动手操作。

等一串数据展现在众人的眼前时，林曦月接着说道：“检测对准精度。”

......

随着一个个光刻机的性能测试，一串又一串的完美数据被一一的列出。

国际上最顶尖的光刻机，物理系统孔径仅为0.33，可以支持7nm和5nm制程的芯片。

但是这一个光刻机，国外都要耗费上百亿，耗时十几年才能完成。

他们却在短短不到一年的时间内，制造出3nm的光刻机。

要知道需要支持3nm芯片的制造，硅原子不到0.2nm，需要让一束激光准确无误地切开几个硅原子之间的连接。

这个操作比登天还难，但是他们做到了！

身为研究光刻机多年的老人，徐院士看着那一串串数据，不用林曦月宣布，他都知道3nm的光刻机，真的出现了！